旋片真空泵的極限真空度會受到多種因素的影響，具體如下：

泵體結構與設計

- 單級與雙級結構：雙級旋片真空泵的極限真空度通常比單級的要高。因為雙級泵是由兩個單級泵串聯而成，氣體經過兩級壓縮和排氣，能更有效地將氣體排出，從而獲得更高的真空度，一般雙級旋片真空泵的極限真空度可達到1.3Pa以下，而單級旋片真空泵的極限真空度相對較低.

- 轉子與旋片的設計：轉子的直徑、長度以及旋片的數量、尺寸和形狀等都會影響泵的抽氣性能。較大的轉子直徑和適當增加的旋片數量，可以在每次旋轉時捕獲和排出更多的氣體，有助于提高極限真空度。

密封性能

- 泵油質量與油位：泵油在旋片真空泵中起著密封、潤滑和冷卻的重要作用。如果泵油受到污染，如混入水分、雜質或被氧化，其密封性能會下降，導致-極限真空度降低。此外，油位過高或過低也會影響密封效果，油位過高可能會使油進入吸氣腔，影響氣體的正常吸入；油位過低則無法保證良好的密封和潤滑，一般油位應保持在油標中心位置.

- 密封件的狀況：泵體的密封件，如軸封、端蓋密封等，若出現老化、磨損或損壞，會導致外界空氣泄漏進入泵內，使極限真空度無法達到理想值。

內部部件的磨損

- 旋片與定子的磨損：長時間使用后，旋片與定子內壁之間的摩擦會使兩者產生磨損，導致配合間隙增大。當間隙超過一定范圍時，氣體容易從高壓側泄漏到低壓側，從而降低極限真空度.

- 彈簧的疲勞：旋片背后的彈簧在長期使用中可能會出現疲勞現象，導致彈簧張力不足。這會使旋片無法緊密地貼合定子內壁，影響吸氣室和排氣室的隔離效果，進而使真空泵的抽真空性能下降，極限真空度降低.

被抽氣體的性質

- 氣體種類：不同種類的氣體分子大小、質量和粘性等性質不同，對極限真空度有一定影響。例如，粘性較大的氣體在泵內的流動阻力較大，較難被抽出，會導致-極限真空度下降；而對于密度較小、分子直徑較小的氣體，相對更容易被抽出，極限真空度可能會稍高一些.

- 可凝性氣體和水蒸氣：如果被抽氣體中含有可凝性氣體或水蒸氣，當它們進入泵內后，在壓縮和排氣過程中可能會凝結成液體，混入泵油中，影響泵油的性能和密封效果，進而降低極限真空度。若真空泵附有氣鎮裝置，可以在一定程度上抽除可凝性氣體，但如果氣鎮裝置工作不正常或氣鎮量不足，仍會對極限真空度產生不利影響.

真空系統的狀況

- 管道與連接件的影響：真空系統中的管道長度、直徑、彎頭數量以及連接件的密封性能等，都會影響氣體的流動阻力和泄漏情況。如果管道過長、過細或彎頭過多，會增加氣體流動的阻力，使泵的抽氣速度減慢，極限真空度降低。此外，若管道或連接件存在泄漏點，外界空氣會進入真空系統，導致真空度無法達到預期值.

- 被抽容器的大小和形狀：被抽容器的容積越大，要達到相同的極限真空度所需的抽氣時間就越長。而且，如果容器的形狀不利于氣體的均勻分布和排出，也會影響極限真空度的提高。

工作條件

- 進氣口壓力：進氣口壓力過高或過低都會對極限真空度產生影響。當進氣口壓力過高時，超過了泵的額定工作壓力范圍，會使泵的負荷增大，抽氣效率下降，甚至可能導致泵的損壞；而當進氣口壓力過低時，氣體分子數減少，泵的抽氣速度也會相應減慢，極限真空度難以進一步提高.

- 工作溫度：泵的工作溫度過高會使泵油的粘度降低，影響其密封性能和潤滑效果，同時也可能導致部件的熱膨脹，使配合間隙發生變化，從而降低極限真空度。一般旋片真空泵的工作環境溫度和吸入氣體溫度應在5℃~40℃之間.